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摘要：一种制造半导体药液中粒子的测量装置、过滤方法、制造方法及生产装置，该装置包括液槽，其具有流出端和流入端，储存半导体制造用的药液；第一流路，其连结流出端和流入端，供药液流动；第二流路，其从第一流路的分支点延伸到合流点；液体喷出机，其设置在比分支点更靠上游侧；过滤器，其配置在液体喷出机与分支点之间；以及测量器，其对第二流路内的药液中所含的粒子的数量进行计数，在第一流路中在分支点与合流点之间设置有狭路部，狭路部的截面积小于第一流路的比第一流路的分支点更靠上游侧的截面积。
主权项：1.一种制造半导体药液中粒子的测量装置，其特征在于，包括：具有储存半导体制造用的药液的液槽，所述液槽具备供所述药液从所述液槽流出的流出端和供所述药液流入所述液槽的流入端；第一流路，其连结所述流出端和所述流入端，供所述药液流动；第二流路，其从所述第一流路中的分支点延伸至在所述第一流路中位于比所述分支点靠近下游侧的合流点；液体喷出机，其在所述第一流路中设置在比所述分支点靠近上游侧，使所述液槽内的所述药液从所述流出端朝向所述流入端流入所述第一流路；过滤器，其在所述第一流路中配置在所述液体喷出机与所述分支点之间；以及测量器，其配置在所述第二流路中，对所述第二流路内的所述药液中所含的粒子的数量进行计数，在所述第一流路中，在所述分支点与所述合流点之间设有对所述第二流路进行加压的狭路部，所述狭路部的截面积小于所述第一流路的比所述第一流路的所述分支点更靠上游侧的截面积，所述狭路部的截面积相对于所述第一流路的比所述第一流路的所述分支点更靠上游侧的截面积之比为0.50以下；所述狭路部在所述第一流路中设置在比所述分支点与所述合流点之间的中间位置靠近所述分支点侧。
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