龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本公开实施例涉及半导体领域，提供一种套刻精度量测图形的制作方法及套刻精度量测图形，其中，套刻精度量测图形的制作方法包括：提供晶圆；提供第一光刻胶层，第一光刻胶层具有多个平行排布的初始条状图形；以第一光刻胶层为掩膜图形化晶圆，以将初始条状图形转移到晶圆上，形成第一目标图形；提供第二光刻胶层，第二光刻胶层具有多个第一标记图形及第二标记图形，且第一标记图形沿第一方向延伸，第二标记图形沿第二方向延伸；在形成第一目标图形之后，以第二光刻胶层为掩膜图形化第一目标图形，形成第二目标图形，可以提高套刻精度量测图形的图形精度。
主权项：1.一种套刻精度量测图形的制作方法，其特征在于，包括：提供晶圆；提供第一光刻胶层，所述第一光刻胶层具有多个平行排布的初始条状图形；以所述第一光刻胶层为掩膜图形化所述晶圆，以将所述初始条状图形转移到所述晶圆上，形成第一目标图形；提供第二光刻胶层，所述第二光刻胶层具有多个第一标记图形及第二标记图形，且所述第一标记图形沿第一方向延伸，所述第二标记图形沿第二方向延伸；在形成所述第一目标图形之后，以所述第二光刻胶层为掩膜图形化所述第一目标图形，形成第二目标图形；所述初始条状图形在所述晶圆表面的正投影图形为长方形，且所述初始条状图形的延伸方向与所述初始条状图形排布方向垂直；所述初始条状图形的延伸方向相对于所述第一方向倾斜，多个所述初始条状图形的排布方向相对于所述第二方向倾斜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 套刻精度量测图形的制作方法及套刻精度量测图形
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号