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摘要：一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板；施加压力以使覆板朝向基板偏转，覆板的偏转沿径向方向逐渐延伸；保持施加到覆板的周边的真空，并在通过压力使覆板偏转的同时用卡盘持续保持覆板；从覆板的周边解除真空；以及从卡盘释放覆板。
主权项：1.一种方法，包括：用覆板卡盘保持覆板，所述覆板卡盘包括与所述覆板的中心部分对齐的中心区域和一系列环形区域，所述一系列环形区域包括与所述覆板的周边对齐的外围环形区域和在所述中心区域和所述外围环形区域之间的一个或多个内部环形区域；施加压力以使所述覆板朝向基板偏转以逐渐延伸，覆板的偏转沿着径向方向，还包括：通过所述中心区域施加压力并保持通过所述一系列环形区域施加的真空；在所述覆板的中心部分已经通过压力偏转之后，从所述内部环形区域顺序地解除真空，并且在径向方向上通过所述内部环形区域顺序地施加压力；以及从所述外围环形区域解除真空；以及从所述覆板卡盘上释放所述覆板。
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