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摘要:根据本发明的示例方面,提供一种探测器,所述探测器包括:光学吸收膜,其悬挂在膜与基板之间的空腔上方,所述基板包括在探测器中;以及热电转换器,其将光学吸收膜附接在空腔上方,其中,光学吸收膜在热电转换器的n型热电元件与p型热电元件之间形成接触元件。
主权项:1.一种探测器,其包括:光学吸收膜,所述光学吸收膜悬挂在位于所述光学吸收膜与基板之间的空腔的上方,所述基板包括在所述探测器中,其中,所述光学吸收膜包括热电转换器层和光学吸收层,所述热电转换器层包括第一部分和第二部分,以及热电转换器,所述热电转换器将所述光学吸收膜附接在所述空腔上方,其中,所述光学吸收膜在所述热电转换器的n型热电元件与p型热电元件之间形成接触元件,其中,所述光学吸收膜通过所述热电转换器附接在所述空腔上方是通过第一支腿和第二支腿实现的,所述第一支腿、第二支腿不包括非热电材料,其中,所述第一支腿和第一部分由第一半导体层形成,所述第二支腿和第二部分由第二半导体层形成。
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百度查询: 芬兰国家技术研究中心股份公司 热探测器
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