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摘要：本发明提供零件个数少而密封性优异的真空泵。前述真空泵具备朝向吸气侧壳（14a）的中心设置的多个定子翼（19）、被内包于吸气侧壳（14a）而被旋转自如地支承的转子轴（21）、放射状地设置于转子轴（21）的周围的多个转子翼（20）、使转子轴（21）旋转的马达（16）、环状的密封部件（41），前述密封部件（41）承受由吸气侧壳（14a）和排气侧壳（14b）沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，保持吸气侧壳（14a）和排气侧壳（14b）之间的气密性。密封部件在其截面具有在外周部被凹陷状地形成的变形促进部和将力在接近变形促进部的偏心位置承受的密封部。
主权项：1.一种真空泵，其特征在于，具备吸气侧零件、排气侧零件、旋转轴、马达、密封部件，前述吸气侧零件具有气体的吸气部，前述排气侧零件被与前述吸气侧零件组合，前述旋转轴被内包于前述吸气侧零件，被旋转自如地支承，前述马达使前述旋转轴旋转，前述密封部件为环状，承受由前述吸气侧零件和前述排气侧零件沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，保持前述吸气侧零件和前述排气侧零件之间的气密性，前述密封部件具有变形促进部和密封部和装配部，前述变形促进部在外周部被凹陷状地形成，前述密封部在接近前述变形促进部的偏心位置承受前述力，前述装配部在内周部形成为平面状，与前述吸气侧零件及前述排气侧零件的某一方进行面接触，前述偏心位置是比前述外周部靠内周侧的位置，在前述偏心位置形成有成为前述力的作用点的山形的顶部，前述变形促进部的深度比从前述顶部到位于前述变形促进部的外周侧的末端部的水平距离小，从前述顶部到前述变形促进部的水平距离L1被确定成比从前述顶部到前述装配部的水平距离L2短。
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百度查询： 埃地沃兹日本有限公司 真空泵及用于真空泵的密封部件
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