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摘要：一种NEMS读出系统包括传感器阵列，该传感器阵列包括多个传感器。多个传感器中的每个传感器包括具有与多个传感器中的每个其他传感器的谐振器的频率特性不同的谐振器。从传感器阵列收集指示多个输出信号的读出信号。多个输出信号中的每个输出信号对应于多个传感器之一。对多个输出信号进行分析，以识别多个谐振频率以及检测与多个谐振频率中的至少一个谐振频率相关联的频移。
主权项：1.一种操作读出系统的方法，所述方法包括：提供包括多个传感器的传感器阵列，所述多个传感器中的每个传感器包括谐振器，所述谐振器的频率特性不同于所述多个传感器中的每个其他传感器的谐振器，其中所述多个传感器中的至少一个传感器获取负电荷或正电荷，以便与带正电荷的分析物或带负电荷的分析物产生吸引静电力；在单个传导路径处收集单个读出信号，其中所述单个读出信号指示来自所述传感器阵列的多个输出信号，所述多个输出信号中的每个输出信号对应于所述多个传感器之一；基于所述单个读出信号对所述多个输出信号进行分析，以确定与所述多个传感器中的每个传感器的谐振器相关联的频率特性；以及基于对所述多个输出信号的分析：识别包括第一谐振频率和第二谐振频率的多个谐振频率，所述多个谐振频率中的每个谐振频率对应于所述多个输出信号之一和所述多个传感器之一，其中所述多个谐振频率中的每个谐振频率可操作以根据在每个谐振器上对分析物的吸附而改变；以及检测与由吸附在第一谐振器上的第一分析物引起的所述第一谐振频率相关联的第一频移和与由吸附在第二谐振器上的第二分析物引起的所述第二谐振频率相关联的第二频移，其中所述第一频移和所述第二频移均是从所述单个读出信号的收集中检测到的。
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百度查询： 加州理工学院 基于超导腔光机械学的高复用NEMS阵列读出系统
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