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保持一致性的光学邻近校正方法和使用其制造掩模的方法 

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摘要:本申请公开了保持一致性的光学邻近校正方法和使用其制造掩模的方法。根据本申请,一种计算机可读介质包括程序代码,该程序代码在由处理电路运行时,使处理电路将半导体芯片的布局划分为多个片区,从多个片区中的每个的布局生成多个分段,其中多个片区中的第一片区包括第一分段并且多个片区中的第二片区包括第二分段,通过使用哈希函数计算分别与第一分段和第二分段相对应的哈希值,计算第一分段当中具有第一哈希值的分段的偏置值,基于偏置值计算代表值,以及将代表值应用于第一分段中具有第一哈希值的分段。

主权项:1.一种包括程序代码的非暂时性计算机可读介质,所述程序代码在由至少一个处理电路运行时,使所述至少一个处理电路执行以下操作:将半导体芯片的布局划分成多个片区;从所划分的多个片区中的每个片区的布局生成多个分段,其中,所述多个片区中的第一片区包括第一分段,并且所述多个片区中的第二片区包括第二分段;计算对应于第一分段的哈希值和对应于第二分段的哈希值,通过使用哈希函数计算哈希值;计算具有第一哈希值的第一分段的子集的偏置值;基于偏置值计算代表值;以及将代表值应用于第一分段的哈希值当中具有第一哈希值的分段的子集,其中,所述哈希函数取决于所述多个分段中的每个分段的第一特性值、与所述每个分段相邻的至少一个分段的第二特性值、或所述每个分段与所述至少一个分段之间的第三特性值中的至少一个。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星电子株式会社 保持一致性的光学邻近校正方法和使用其制造掩模的方法

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