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摘要:本发明实施例涉及一种调制器装置及其形成方法,调制器装置包括被配置成接收入射光的输入端子。第一波导具有第一输出区及耦合到输入端子的第一输入区。第二波导光学耦合到第一波导,且具有耦合到输入端子的第二输入区及第二输出区。与第一波导的第一输出区及第二波导的第二输出区耦合的输出端子被配置成提供经调制的出射光。加热器结构被配置成向第一波导提供热量,以在第一波导与第二波导之间引发温度差。充气隔离结构靠近加热器结构,且被配置成将第二波导与提供到第一波导的热量热隔离。
主权项:1.一种集成芯片,包括:调制器装置,包括:输入端子,被配置成接收入射光;第一波导,设置在衬底上且具有第一输入区及第一输出区,所述第一输入区耦合到所述输入端子;第二波导,设置在所述衬底上且光学耦合到所述第一波导,所述第二波导具有第二输入区及第二输出区,所述第二输入区耦合到所述输入端子;输出端子,被配置成提供基于所述入射光而调制的出射光,所述输出端子耦合到所述第一波导的所述第一输出区及所述第二波导的所述第二输出区;加热器结构,靠近所述第一波导,且被配置成基于将要由所述调制器装置传送的数据状态而向所述第一波导提供热量,以在所述第一波导与所述第二波导之间引发温度差;充气隔离结构,靠近所述加热器结构;以及密封层,设置在所述充气隔离结构之上,其中所述密封层的最底表面界定所述充气隔离结构的顶表面,其中所述密封层的所述最底表面设置在所述加热器结构的最顶表面上方;以及光电二极管,设置在所述衬底上方且在横向上位于所述调制器装置的所述第一波导旁边,且其中所述充气隔离结构被配置成保护所述光电二极管及所述第二波导免受所述加热器结构所产生的热量的影响。
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百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 调制器装置及其形成方法
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