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固体摄像装置 

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摘要:固体摄像装置1具备:半导体基板20,其具有设置有多个光感应区域3的主面20a;及绝缘膜30,其设置于半导体基板20的主面20a;在将半导体基板20的主面20a设为基准面K的情况下,自基准面K起的绝缘膜30的厚度T为0.5μm以上,绝缘膜30中的与主面相反侧的面主面30b为具有平坦性的面,在光感应区域3中,在半导体基板20的主面20a设置有自基准面K起的深度互不相同的多种底面R。

主权项:1.一种固体摄像装置,其中,具备:半导体基板,其具有设置有多个光感应区域的主面;及绝缘膜,其设置于所述半导体基板的所述主面,在将所述半导体基板的所述主面设为基准面的情况下,自所述基准面起的所述绝缘膜的厚度为0.5μm以上,所述绝缘膜中的与所述半导体基板的所述主面相反侧的面为具有平坦性的面,在所述光感应区域中,在所述半导体基板的所述主面,设置有自所述基准面起的深度互不相同的多种底面,所述多个光感应区域分别在各自的主面具有成为基准的面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浜松光子学株式会社 固体摄像装置

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