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摘要：本发明涉及一种无透镜编码的全息光刻方法及系统，属于全息成像和全息光刻领域，包括：利用平行光照射原始图样，与倾斜参考光在全息图平面上进行光场分布叠加生成全息图；根据掩模版类型对全息图编码，利用光刻制版工艺将编码图样加工为全息掩模版；采用会聚球面波照射全息掩模版，通过调整倾斜参考光的倾斜角度使再现像和背景噪声分离，将涂有光刻胶的基底放置在再现像处实现全息光刻。本发明通过在生成全息图时引入倾斜参考光并用可调会聚球面波照射实现全息图再现与放缩，在全息掩模版和光刻基底之间无需引入成像透镜即可实现再现像与背景噪声的分离，简化系统结构的同时消除了滤波成像透镜数值孔径对极限分辨率的限制，提升了光刻质量。
主权项：1.一种无透镜编码的全息光刻方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：利用平行光照射原始图样，与倾斜参考光在全息图平面上进行光场分布叠加，使物光波与倾斜参考光进行干涉生成含有物体频谱信息的准傅里叶全息图；使用发散球面波作为倾斜参考光；根据掩模版类型对所述全息图进行编码得到编码图样，利用光刻制版工艺将所述编码图样加工为全息掩模版；采用会聚球面波照射全息掩模版，并将涂有光刻胶的基底表面放置在再现像处，实现全息光刻；其中，在生成全息图时通过调整所述倾斜参考光的倾斜角度使得再现时再现像和背景噪声分离；通过调整所述会聚球面波照明时的会聚角度，实现再现像的放缩包括：通过减小所述会聚球面波照明时的会聚角度，实现再现像不同比例的放大；通过增大所述会聚球面波照明时的会聚角度，实现再现像不同比例的缩小；放大率为，其中，zc为会聚球面波到全息图平面的距离，z0为物平面到全息图平面的距离，参考点源与原始图样位于同一平面；所述全息图包括：相位型全息图、振幅型全息图。
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百度查询： 北京理工大学 一种无透镜编码的全息光刻方法及系统
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