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摘要:本发明公开了基于二维堆叠技术的芯片封装方法,属于芯片封装技术领域,包括以下步骤:布线设计:根据芯片预定的布局和顺序对硅片进行开槽、布线和密封,硅片表面预留若干个芯片接口,芯片接口外侧设置护框;初步堆叠:将筛选后的芯片堆叠在设计完成的各个芯片接口处,形成初步堆叠结构;电气连接、单片封装、全片封装:芯片模块化堆叠设计方便扩展维护,芯片二维堆叠在硅片上,解决了垂直叠放占用输入输出端座的问题,且模块化设计方便芯片的维护和扩展升级。芯片双重封装,热隔离堆叠结构可视为内封装,封装机构视为外封装,组合的整体具有内散热通道和接触散热面,提高运行中的散热效率。
主权项:1.基于二维堆叠技术的芯片封装方法,其特征在于,包括以下步骤:布线设计:根据芯片预定的布局和顺序对硅片进行开槽、布线和密封,硅片表面预留若干个芯片接口,芯片接口外侧设置护框;初步堆叠:将筛选后的芯片堆叠在设计完成的各个芯片接口处,形成初步堆叠结构;电气连接:在芯片堆叠完成后,使用微连接技术将芯片与芯片接口之间进行电气连接,形成电气连接结构;单片封装:在初步堆叠结构和护框的间隙内设置热隔离层,形成独立的热隔离堆叠结构;全片封装:封装机构对各个热隔离堆叠结构进行外部封装,所述封装机构内腔和护框之间留置散热通道,其中,所述散热通道能与所述封装机构外部的散热系统相连,形成一个散热网络;根据芯片预定的布局和顺序对硅片进行开槽、布线和密封的步骤包括:硅片开槽:根据芯片之间的连接工艺,按硅片由下至上的层深开设若干引线槽,引线槽蚀刻成型;连线铺设:将连线逐层铺设在各个引线槽内,连线两端贯穿硅片的端面成型有芯片接口;开槽密封:最底层引线槽铺设连线后,将绝缘填料置入引线槽冷却成型,逐层进行各个开槽深度引线槽的绝缘密封;护框加装:将匹配芯片接口待堆叠芯片的护框放置在外周,通过粘接的方式进行护框与硅片的固定,护框和硅片的夹持区间可辅助芯片堆叠位置的定位;封装机构对各个热隔离堆叠结构进行外部封装,所述封装机构内腔和护框之间留置散热通道的步骤包括:在封装机构中预留散热通道:在封装机构内部预留出散热通道的空间,确保散热通道能够顺利设置并与封装外部散热系统相连;放置热隔离堆叠结构:在封装机构内部确定散热通道的位置和走向,确保散热通道能够有效地将热量从热隔离堆叠结构中导出,将散热通道材料按照设计好的位置和走向安装在封装机构内部,确保散热通道与热隔离堆叠结构紧密接触,以便有效地传递热量;封装:将热隔离堆叠结构放置在封装机构内部,确保其与散热通道紧密接触,使用适当的封装材料和方法,将热隔离堆叠结构固定在封装机构内部,并且在封装时,使用高导热性能的热界面材料来连接芯片和封装机构,形成导热缓冲结构;封装检测:检查封装是否牢固可靠,确保热隔离堆叠结构在工作过程中不会脱落或损坏。
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