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一种引晶功率计算方法、确定方法及装置 

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摘要:本发明提供了一种引晶功率计算方法,包括:获取上次引晶功率、上次平均引晶拉速;获取上次放肩高度、上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间、上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量、本次调温对应的硅液重量;获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量,确定引晶拉速与功率变化系数;获取放肩高度变化量对应的功率变化量,确定放肩高度与功率变化系数;获取运行时间变化量对应的功率变化量,确定运行时间与功率变化系数;获取硅液重量变化量对应的功率变化量,确定硅液重量与功率变化系数;确定引晶标准拉速和放肩标准高度;将上述数据输入引晶功率计算模型,计算得到本次引晶功率。本发明提高了找引晶功率的效率和准确性。

主权项:1.一种引晶功率计算方法,其特征在于,包括:基于单晶炉的上次生产数据,获取如下数据:获取上次引晶功率;获取上次平均引晶拉速;获取上次放肩高度;获取上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间;获取上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量;获取本次调温对应的硅液重量;基于单晶炉的历史生产数据,获取如下数据:获取平均引晶拉速变化量对应的功率变化量,确定引晶拉速与功率变化系数;获取放肩高度变化量对应的功率变化量,确定放肩高度与功率变化系数;获取运行时间变化量对应的功率变化量,确定运行时间与功率变化系数;获取炉内石英埚内硅液重量变化量对应的功率变化量,确定硅液重量与功率变化系数;确定引晶标准拉速和放肩标准高度;将上述数据输入引晶功率计算模型,计算得到本次引晶功率;其中,所述引晶功率计算模型为:本次引晶功率=所述上次引晶功率+(所述上次平均引晶拉速-所述引晶标准拉速)X所述引晶拉速与功率变化系数+(所述放肩标准高度-所述上次放肩高度)X所述放肩高度与功率变化系数+所述上次引晶对应的调温时间到本次调温的运行时间X所述运行时间与功率变化系数+(所述上次引晶对应的炉内石英埚内硅液重量-所述本次调温对应的硅液重量)X所述硅液重量与功率变化系数。

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