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摘要：本发明公开了一种具有超高品质因子的多频带太赫兹超材料谐振器，包括由多个单元呈周期性排布构成，每个所述单元结构相同，均由石英组成的衬底和衬底上面四个由钽酸锂薄膜构成的结构A、结构B、结构C、结构D构成，本发明解决了现有技术中高质量因子金属超材料谐振器中存在的金属易被氧化、高损耗、结构复杂的问题，当在超材料上沉积待测物会改变十字型结构周围的介电环境从而使谐振峰发生频移，通过其极高品质因子的谐振峰的频移可以实现高灵敏度待测物传感。
主权项：1.一种具有超高品质因子的多频带太赫兹超材料谐振器，其特征在于，包括由多个单元呈周期性排布构成，每个所述单元结构相同，均由石英组成的衬底（1）和衬底（1）上面四个由钽酸锂薄膜构成的结构A2）、结构B（3）、结构C（4）、结构D（5）构成；所述衬底（1）的周期为63-70μm，高度为50-80μm；所述结构A2）、结构B（3）、结构C（4）、结构D（5）均匀排布设置于衬底（1）上表面，结构A2）、结构B（3）、结构C（4）、结构D（5）的横切面均为十字形；所述结构A2）、结构B（3）、结构C（4）、结构D（5）中心之间的距离相等，均为24-30μm；所述结构A2）、结构B（3）、结构C（4）、结构D（5）的高度相等，均为8-13μm；所述衬底（1）的横切面为正方形；改变两个y方向上相邻的两个结构单元的长度来引入非对称参数，即引入参数k。
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百度查询： 西安理工大学 一种具有超高品质因子的多频带太赫兹超材料谐振器
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