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摘要：本发明公开了一种应用上更多元，能降低成本、耗能、故障率，并节约空间的湿制程用清洁机构，其技术手段为清洁机构能配合湿制程设备应用，清洁机构至少包括配合湿制程设备设置的机器臂机构及清洁头组；机器臂机构包含水平、垂直位移机构及机器臂、快速公接头，水平位移机构设于湿制程设备后侧，垂直位移机构设于水平位移机构顶侧面，并能被其带动位移，机器臂设于垂直位移机构前侧处，能被其带动位移，快速公接头设于机器臂自由端；清洁头组至少包含水清洗头、药液清洁头及干燥头，其三者皆设有快速母接头，水清洗头能调整喷水角度，快速母、公接头能相互配合，使各头能被机器臂机构分别提起带动位移，以供发挥出相应功能用。
主权项：1.一种湿制程用清洁机构，清洁机构100能配合湿制程设备200应用，其特征在于：所述清洁机构100至少包括有配合所述湿制程设备200设置的一机器臂机构1及一清洁头组2；所述机器臂机构1至少包含有一水平位移机构11、一垂直位移机构12、一机器臂13及一快速公接头14，所述水平位移机构11设于所述湿制程设备200后侧处，所述垂直位移机构12设于所述水平位移机构11顶侧面处，并能被其所带动而位移，所述机器臂13设于所述垂直位移机构12前侧处，能被其所带动而位移，所述快速公接头14设于所述机器臂13自由端处；所述清洁头组2至少包含有排列设置于所述湿制程设备200邻近于所述机器臂机构1一侧处的一水清洗头21、一药液清洁头22及一干燥头23，所述水清洗头21、所述药液清洁头22及所述干燥头23均设有一位于各头顶端处的快速母接头24，所述水清洗头21能调整喷水角度，所述快速母接头24能与所述快速公接头14配合，使所述水清洗头21、所述药液清洁头22及所述干燥头23均能被所述机器臂机构1分别提起带动位移。
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