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摘要：极紫外EUV产生装置，包括：壳体模块，其包括：壳体，其内部维持真空状态；以及出射窗，其形成在壳体一侧；激光源，其通过出射窗向壳体的内部发射激光，等离子体产生模块，其位于壳体内部并通过允许朝向流入激光焦点区域的等离子气体发射激光来产生等离子体，以及射频RF电源模块，其在等离子气体流入激光焦点区域之前，对等离子气体预电离。
主权项：1.一种极紫外产生装置，包括：外壳，其包括壳体和形成在所述壳体一侧的窗口，所述壳体构造成连接到真空泵，使得所述壳体的内部能够维持在真空状态；激光源，其构造为通过所述窗口朝向所述壳体的内部发射激光；等离子体产生装置，其位于所述壳体的内部，所述等离子体产生装置构造为响应于朝向流入激光焦点区域的等离子气体发射激光来产生等离子体；以及射频电源装置，其构造为在所述等离子气体流入所述激光焦点区域之前，对所述等离子气体预电离，其中，所述等离子体产生装置包括：激光路径管，其具有第一端、第二端和中心轴，所述中心轴与从所述激光路径管的第一端发射到所述激光路径管中的激光的发射路径重合，使得所述激光焦点区域比所述激光路径管的第一端更靠近所述激光路径管的第二端；以及气体供应管，其连接到所述激光路径管，所述气体供应管构造成将所述等离子气体供应到所述激光路径管的内部，并且其中，所述射频电源装置包括：射频线圈，其缠绕在所述气体供应管的外圆周表面以及所述气体供应管与所述激光路径管的接合处下游的激光路径管的外圆周表面中的一个或多个上，以及射频电源，其构造为向所述射频线圈供电。
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