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摘要：一种气体再循环系统包括：气体净化器系统；气体分析系统；制备再循环气体混合物的气体混合系统；以及控制系统，该控制系统被配置为：确定至少一种预期气体成分的被测量的量是否在第一可接受值范围内；以及确定至少一种杂质气体成分的被测量的量是否在第二可接受值范围内。如果至少一种预期气体成分的被测量的量不在第一可接受值范围内，则控制系统引起气体混合系统向净化气体混合物添加附加气体成分，以制备再循环气体混合物；以及如果至少一种杂质气体的被测量的量不在第二可接受值范围内，则控制系统生成错误信号。
主权项：1.一种气体再循环系统，包括：气体净化器系统，被配置为从准分子激光器接收排气混合物，所述排气混合物包括预期气体成分和杂质气体成分，所述气体净化器系统被配置为减少所述杂质气体成分中的至少一种杂质气体成分的量，以基于所述排气混合物来形成净化气体混合物；气体分析系统，包括测量系统，所述测量系统被配置为接收所述净化气体混合物的至少一部分并且测量所述净化气体混合物中至少一种预期气体成分的量和所述净化气体混合物中至少一种杂质气体成分的量；气体混合系统，基于所述净化气体混合物来制备再循环气体混合物；以及控制系统，耦合到所述气体分析系统和所述气体混合系统，所述控制系统被配置为：确定所述至少一种预期气体成分的被测量的量是否在第一可接受值范围内；确定所述至少一种杂质气体成分的被测量的量是否在第二可接受值范围内；如果所述至少一种预期气体成分的被测量的量不在所述第一可接受值范围内，则引起所述气体混合系统向所述净化气体混合物添加附加气体成分，以制备所述再循环气体混合物；以及如果所述至少一种杂质气体的被测量的量不在所述第二可接受值范围内，则生成错误信号。
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