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摘要:本申请公开了一种电容压力传感阵列的感测电路及其感测方法,属于电容压力传感领域,该感测电路通过在运算放大器的正相输入端交替输入正向激励电压和负向激励电压,或者在压力感测电容的驱动端交替输入正向激励电压和负向激励电压,运算放大器的反相输入端连接对应列的压力感测电容的检测端,以获得运算放大器的输出端输出的正向激励电压和负向激励电压分别对应的第一检测电压和第二检测电压,从而基于正向激励电压和负向激励电压的幅值、第一检测电压和第二检测电压、参考电容的电容值计算得到目标行的压力感测电容的电容值。本申请可以提高对电容压力传感器阵列的感测电容的检测精度,满足高精度压力分布测量的需求。
主权项:1.一种电容压力传感阵列的感测电路,其特征在于,包括:电容压力传感阵列,包括m行n列压力感测电容,所述压力感测电容的驱动端输入参考电压,m和n为大于等于1的整数;至少一个容压转换单元,每个容压转换单元包括运算放大器和参考电容,所述参考电容的两端分别连接至所述运算放大器的反相输入端和输出端,所述运算放大器的反相输入端连接所述m行n列压力感测电容中对应列的压力感测电容的检测端;所述运算放大器的正相输入端被配置为交替输入正向激励电压和负向激励电压,所述运算放大器的输出端输出所述正向激励电压和负向激励电压分别对应的第一检测电压和第二检测电压;控制单元,连接所述运算放大器的输出端,用于基于所述正向激励电压和负向激励电压的幅值、所述第一检测电压和第二检测电压、所述参考电容的电容值计算得到所述m行n列压力感测电容中目标行的压力感测电容的电容值。
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