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摘要：本发明公开了一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；二氯二氢硅储罐与反应釜上部的进料口连通，甲醇储罐与反应釜中部的进料口连通，氯化氢储罐与反应釜底部的进气口连通，反应釜顶部的气相出口通过管线与冷凝装置的进口连通，冷凝装置的冷凝液出口通过管线与分离塔的进料口连通，分离塔底部的塔釜液出口通过管线与提纯塔的进料口连通，提纯塔底部的塔釜液出口通过管线与产品储罐的进口连通。优点：得到的五氯乙硅烷纯度可高达99.99%，达到制备高端集成电路对五氯乙硅烷的要求；可以大大降低五氯乙硅烷生产成本，并能解决目前只能从国外进口的问题。
主权项：1.一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，其包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；所述二氯二氢硅储罐与所述反应釜上部的进料口连通，所述甲醇储罐与所述反应釜中部的进料口连通，所述氯化氢储罐与所述反应釜底部的进气口连通，所述反应釜顶部的气相出口通过管线与所述冷凝装置的进口连通，所述冷凝装置的冷凝液出口通过管线与所述分离塔的进料口连通，所述分离塔底部的塔釜液出口通过管线与所述提纯塔的进料口连通，所述提纯塔底部的塔釜液出口通过管线与产品储罐的进口连通；将二氯二氢硅、甲醇以及氯化氢按照25～35:13～18:1的摩尔比通入反应釜内，在歧化催化剂的作用下，在850～900℃、1.2～1.4Mpa的条件下发生反应，生成气态的粗五氯乙硅烷；歧化催化剂为填充有脂肪族有机叔胺、辛基苯磺酸钠、活性炭以及芳香族环状碱性化合物的阴离子弱碱性树脂；分离塔的工艺条件为：0.65～0.8Mpa、100～115℃；提纯塔的工艺条件为：0.15～0.3Mpa、80～95℃。
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