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摘要：本申请提供了一种太阳能电池及其制备方法，太阳能电池包括：硅基底，硅基底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；磷掺杂多晶硅层和第一钝化层，磷掺杂多晶硅层和第一钝化层依次层叠设置于硅基底的第一表面，第一钝化层包括氮氧化硅层，氮氧化硅层含有非晶氮氧化硅和多晶氮氧化硅。本申请解决了磷掺杂多晶硅层退火晶化制备过程中的起泡问题，具有钝化效果好和转化效率高等特点。
主权项：1.一种太阳能电池，其特征在于，所述太阳能电池包括：硅基底，所述硅基底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；磷掺杂多晶硅层和第一钝化层，所述磷掺杂多晶硅层和第一钝化层依次层叠设置于所述硅基底的所述第一表面，所述第一钝化层包括氮氧化硅层，所述氮氧化硅层含有非晶氮氧化硅和多晶氮氧化硅；其中，所述氮氧化硅层的厚度为10nm～15nm；所述太阳能电池的制备方法包括：在所述硅基底的所述第一表面之上依次形成磷掺杂非晶硅层和钝化预制层，所述钝化预制层包括非晶氮氧化硅层；对所述磷掺杂非晶硅层和非晶氮氧化硅层进行退火处理，使所述磷掺杂非晶硅层形成磷掺杂多晶硅层，所述钝化预制层形成第一钝化层，其中的所述非晶氮氧化硅层形成含有非晶氮氧化硅和多晶氮氧化硅层；所述退火处理的温度为880℃～920℃，时间为6000s～6500s。
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百度查询： 天合光能股份有限公司 太阳能电池及其制备方法
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