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一种基于零位补偿法的折反光学系统的次镜装调方法 

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摘要:本发明涉及一种基于零位补偿法的折反光学系统次镜装调方法,安装主镜,对主镜内孔平面与干涉仪参考面分别反射的光线所形成的干涉条纹进行调节,调节至零条纹状态以消除主镜与干涉仪的相对倾斜;安装补偿透镜,对补偿透镜内孔平面与干涉仪参考面分别反射的光线所形成的干涉条纹进行调节,调节至零条纹状态以消除补偿透镜与干涉仪的相对倾斜;安装次镜,通过干涉仪检测得到由补偿透镜、主镜、次镜、辅助球面镜所形成的零位检测系统的波前信息,利用该波前信息实现折反光学系统次镜的装调。本发明采用设计补偿透镜的方式,以及一体化加工主镜及辅助球面镜,避免由于辅助球面镜安装误差导致的装调误差,极大提高了折反光学系统的次镜装调精度。

主权项:1.一种基于零位补偿法的折反光学系统次镜装调方法,其特征在于,包括:安装主镜,对主镜内孔平面与干涉仪参考面分别反射的光线所形成的干涉条纹进行调节,调节至零条纹状态以消除主镜与干涉仪的相对倾斜;安装补偿透镜,对补偿透镜内孔平面与干涉仪参考面分别反射的光线所形成的干涉条纹进行调节,调节至零条纹状态以消除补偿透镜与干涉仪的相对倾斜;安装次镜,通过干涉仪检测得到由补偿透镜、主镜、次镜、辅助球面镜所形成的零位检测系统的波前信息,利用该波前信息实现折反光学系统次镜的装调。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海航天控制技术研究所 一种基于零位补偿法的折反光学系统的次镜装调方法

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