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摘要：本发明涉及铅盐红外阵列传感器领域，尤其涉及一种铅盐红外传感阵列结构及其制备方法。结构包括：探测单元阵列、纵向电极M列、钝化绝缘层、横向电极N行。探测单元包括铅盐敏感元、连接电极、共用电极和异质PN结。探测单元电信号由某行横向电极输入，经异质PN结沿垂直方向正向传输，通过共用电极沿水平方向传输至铅盐敏感元，通过连接电极导入各列纵向电极，进行各探测单元的信号读取与处理。本发明采用多层薄膜制备工艺构造传感器结构，利用钝化绝缘层进行横向输入、纵向输出电极的电隔离，降低互通复杂性；集成铅盐探测器和异质PN结，利用PN结单向导电性解决行列扫描中耦合效应同时实现大规模集成。
主权项：1.一种铅盐红外传感阵列结构，从下至上依次包括衬底、由若干探测单元组成的探测单元阵列、M列纵向电极、钝化绝缘层、N行横向电极，其特征在于：M×N阵列，4≤M≤320，4≤N≤240，探测单元包括探测单元铅盐敏感元、探测单元连接电极、探测单元共用电极以及探测单元异质PN结，探测单元连接电极、探测单元共用电极分别设置于探测单元铅盐敏感元同一平面两侧，M列纵向电极与若干探测单元的探测单元铅盐敏感元、探测单元连接电极、探测单元共用电极位于同一平面，所述钝化绝缘层完整包覆若干探测单元的探测单元铅盐敏感元、探测单元连接电极、探测单元共用电极和M列纵向电极，在探测单元共用电极、各列纵向电极焊盘区位置对应设有钝化绝缘层通孔，通孔面积大小占下方电极面积的60％-70％，在所述探测单元共用电极对应位置的通孔内嵌入探测单元异质PN结，所述钝化绝缘层与探测单元异质PN结处于同一平面，在所述若干嵌有探测单元异质PN结的位置上方设置N行横向电极与横向电极焊盘区，横向电极焊盘区设置于各行横向电极同一侧，用于进行各列探测单元信号连通。
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百度查询： 江苏大学 一种铅盐红外传感阵列结构及其制备方法
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