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摘要：本发明公开了一种多孔吸盘的内饱和检测方法、装置、设备及存储介质，属于半导体技术领域，所述方法包括获取全新状态的多孔吸盘，并通过真空度检测装置采集多孔吸盘在全新状态下的真空度K1；在全新状态的多孔吸盘上放置玻璃载片，并通过真空度检测装置采集放置玻璃载片后的多孔吸盘在全损状态下的真空度K2；获取待检测的多孔吸盘，并通过真空度检测装置采集待检测的多孔吸盘在检测状态下的真空度K3；计算待检测的多孔吸盘的内饱和状态值F；根据待检测的多孔吸盘的内饱和状态值F，对待检测的多孔吸盘的进行预处理。本发明所提供的多孔吸盘的内饱和检测方法，计算过程简易、数据直观，且无耗材损耗，即可实时获得多孔吸盘的使用状态。
主权项：1.一种多孔吸盘的内饱和检测方法，其特征在于，包括：获取全新状态的多孔吸盘，并通过真空度检测装置采集所述多孔吸盘在全新状态下的真空度K1；在所述全新状态的多孔吸盘上放置玻璃载片，并通过所述真空度检测装置采集放置玻璃载片后的多孔吸盘的真空度，以得到多孔吸盘在全损状态下的真空度K2；获取待检测的多孔吸盘，并通过所述真空度检测装置采集待检测的多孔吸盘的真空度，以得到待检测的多孔吸盘在检测状态下的真空度K3；根据所述多孔吸盘在全新状态下的真空度K1、所述多孔吸盘在全损状态下的真空度K2，以及所述待检测的多孔吸盘在检测状态下的真空度K3，计算所述待检测的多孔吸盘的内饱和状态值F；根据所述待检测的多孔吸盘的内饱和状态值F，对所述待检测的多孔吸盘的进行预处理。
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百度查询： 深圳市汇芯通信技术有限公司 多孔吸盘的内饱和检测方法、装置、设备及存储介质
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