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用于探针维修的装置和方法 

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摘要:本公开提供了一种用于探针维修的方法,包括:使用固定夹具将探针卡固定到维修装置的操作台,其中,所述维修装置包括所述操作台、显微镜、图像采集装置、监视器、以及计算装置;将所述探针卡的探针编号信息输入所述计算装置,其中,所述编号信息包括所述探针卡上的每个探针的行号和列号;通过所述图像采集装置在所述监视器上显示所述显微镜的视场中的图像,并由所述计算装置生成探针卡图像;通过所述计算装置基于所述编号信息来识别所述探针卡图像上的所述探针卡中的每个探针;将故障探针的编号信息输入所述计算装置;以及定位所述故障探针。

主权项:1.一种用于探针维修的方法,包括:使用固定夹具将探针卡固定到维修装置的操作台,其中,所述维修装置包括所述操作台、显微镜、图像采集装置、监视器、以及计算装置;将所述探针卡的探针编号信息输入所述计算装置,其中,所述编号信息包括所述探针卡上的每个探针的行号和列号;通过所述图像采集装置在所述监视器上显示所述显微镜的视场中的图像,并由所述计算装置生成探针卡图像;通过所述计算装置基于所述编号信息来识别所述探针卡图像上的所述探针卡中的每个探针;将故障探针的编号信息输入所述计算装置;以及定位所述故障探针。

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