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摘要：本发明涉及太赫兹技术领域，尤其是提供了一种基于石墨烯的橄榄球型太赫兹生化传感器及其制备方法。该太赫兹生化传感器包括石英基底层；下介质层，设置于石英基底层的上表面；橄榄球型金属谐振层，利用磁控溅射技术设置于下介质层的上表面；上介质层，设置于橄榄球型金属谐振层的上表面；三层石墨烯层，设置于上介质层的上表面，该太赫兹生化传感器将石墨烯与超表面集成，设计实现了应用于生化农学检测的超灵敏太赫兹传感器，简便的操作特点和超灵敏特性使其在检测痕量量级物质中具备广泛的应用潜力，克服了传统生化检测技术灵敏度低、样品用量多等弊端，可实现快速、简便、低成本、高安全性、超灵敏检测，为生化分子研究提供有力支持。
主权项：1.一种基于石墨烯的橄榄球型太赫兹生化传感器，其特征在于，所述太赫兹生化传感器包括：石英基底层1；下介质层2，旋涂10μm厚的聚酰亚胺膜，设置在所述石英基底层的上表面；橄榄球型金属谐振层3，利用磁控溅射技术设置于所述下介质层2的上表面，结构材料为金属金；上介质层4，设置于所述橄榄球型金属谐振层3的上表面，其为一层5μm厚聚酰亚胺；三层石墨烯层5，设置于所述上介质层4的上表面。
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百度查询： 齐鲁工业大学(山东省科学院) 基于石墨烯的橄榄球型太赫兹生化传感器及其制备方法
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