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摘要：本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种硅片酸洗废气处理装置及废气处理方法，该硅片酸洗废气处理装置中设有碱洗组件、第一净化组件、氧化组件、第二净化组件、冷却组件及存储组件，碱洗组件的入料端用于抽取硅片酸洗废气，出料端与第一净化组件的入料端连接，第一净化组件的出料端与氧化组件的入料端连接，氧化组件的出料端与第二净化组件的入料端连接，冷却组件安装在第一净化组件和氧化组件间的连接管路上，存储组件与第一净化组件和氧化组件间的连接管路连接；如此，通过冷却组件将大量的二氧化氮气体冷凝为二氧化氮液体，通过存储组件存储二氧化氮液体，以降低需要反应的二氧化氮气体总量，防止部分来不及反应的二氧化氮气体逃逸至大气中造成污染。
主权项：1.一种硅片酸洗废气处理装置，其特征在于，包括碱洗组件、第一净化组件、氧化组件、第二净化组件、冷却组件及存储组件，所述碱洗组件的入料端用于抽取硅片酸洗废气，出料端与所述第一净化组件的入料端连接，所述第一净化组件的出料端与所述氧化组件的入料端连接，所述氧化组件的出料端与所述第二净化组件的入料端连接，所述冷却组件的安装在所述第一净化组件和氧化组件间的连接管路上，所述存储组件与所述第一净化组件和氧化组件间的连接管路连接；所述碱洗组件用于去除硅片酸洗废气中残留的酸性物质，所述第一净化组件用于中和二氧化氮气体，所述氧化组件用于将一氧化氮氧化为二氧化氮，所述第二净化组件用于将二氧化氮气体还原为氮气并排出，所述冷却组件用于降低所述第一净化组件和氧化组件间的连接管路的温度，以使第一净化组件和氧化组件间的连接管路内的大量二氧化氮气体冷凝为二氧化氮液体，所述存储组件的用于收集并存储所述第一净化组件和氧化组件间的连接管路内冷凝生成的二氧化氮液体。
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百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 硅片酸洗废气处理装置及废气处理方法
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