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摘要：本发明提供了一种碳化硅原料的合成装置，属于碳化硅制备技术领域。本发明包括密闭空间，由下托盘、围挡和上盖围合而成；若干石墨盘，设置于密闭空间内，且呈上下分层布置；导气杆，其插入若干石墨盘中心，其上开设有若干输气孔；下托盘上开设有进气孔，上盖上开设有出气孔，进气管通过进气孔与导气杆相连通；输气孔位于相邻两个石墨盘之间。本发明通过在石墨盘上合成碳化硅原料，产能大、成本低，能够实现连续生产。
主权项：1.一种碳化硅原料的合成装置，其特征在于，包括：密闭空间，其由下托盘、围挡和上盖围合而成；若干石墨盘，其设置于所述密闭空间内，且呈上下分层布置；导气杆，其插入若干所述石墨盘中心，其上开设有若干输气孔；所述下托盘上开设有进气孔，所述上盖上开设有出气孔，进气管通过所述进气孔与所述导气杆相连通；所述输气孔位于相邻两个石墨盘之间。
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百度查询： 山西烁科晶体有限公司 碳化硅原料的合成装置及其合成方法
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