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摘要：本发明涉及晶圆测试技术领域，具体公开一种晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质，该方法包括：获取待测晶圆的MAP图中的失效芯片坐标集合，计算所述失效芯片坐标集合与自身的笛卡尔积，并计算所述笛卡尔积中的每个坐标对的曼哈顿距离；将曼哈顿距离小于第一阈值的坐标对确定为目标坐标对，并对所有的目标坐标对进行并查集合并，判断是否形成失效芯片区域；若形成失效芯片区域，则根据任一失效芯片区域的失效区域类型以及该失效芯片区域的失效芯片数量，检测该失效芯片区域是否存在异常。本发明能够简单高效地实现晶圆区域性失效检测，有助于改进芯片设计和制造过程，提高产品质量和客户满意度。
主权项：1.一种晶圆区域性失效检测方法，其特征在于，包括：获取待测晶圆的MAP图中的失效芯片坐标集合，计算所述失效芯片坐标集合与自身的笛卡尔积，并计算所述笛卡尔积中的每个坐标对的曼哈顿距离；将曼哈顿距离小于第一阈值的坐标对确定为目标坐标对，并对所有的目标坐标对进行并查集合并，判断是否形成失效芯片区域；若形成失效芯片区域，则根据任一失效芯片区域的失效区域类型以及该失效芯片区域的失效芯片数量，检测该失效芯片区域是否存在异常。
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百度查询： 北京确安科技股份有限公司 晶圆区域性失效检测方法、系统、电子设备和存储介质
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