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摘要：本发明属于电镀领域，特别涉及铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用。铂电镀溶液包括：铂盐，以铂Ⅱ计0.02molL；铂盐为乙二胺氯化铂Ⅱ或乙二胺碘化铂Ⅱ；络合剂，0.16～0.46molL；络合物为两端具有氨基的线性分子或1,2‑二氨基环己烷；两端具有氨基的线性分子的两氨基之间的碳数n选自2、3、4；电解盐，0.13～0.53molL，电解盐包括羧酸铵盐或硫酸铵盐；pH调节剂调节铂电镀溶液pH至7；溶剂为超纯水。本发明形成的铂镀层具有优异形貌、分布均匀、高纯度和优异致密性，生产的晶圆电子产品具有优异耐腐蚀性、高精度导电性和高品质电子信号传输性能。
主权项：1.一种铂电镀溶液，其特征在于，包括如下浓度的组分：铂盐：以铂Ⅱ计，0.02molL；所述铂盐为乙二胺氯化铂Ⅱ或乙二胺碘化铂Ⅱ中的至少一种；络合剂：0.16～0.46molL；所述络合物为两端具有氨基的线性分子或1,2-二氨基环己烷中的至少一种；所述两端具有氨基的线性分子的两氨基之间的碳数n选自2、3、4；电解盐：0.33molL，所述电解盐包括羧酸铵盐或硫酸铵盐中的至少一种；pH调节剂，调节铂电镀溶液pH至7；溶剂：超纯水，余量。
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百度查询： 昆山一鼎工业科技有限公司 一种铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用
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