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摘要：一种气浮式大负载低刚度隔振结构及设计方法，本发明为解决在超精密加工、航空航天技术以及微电子制造中，如何有效的控制和隔离微小振动的问题，本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器内腔，所述隔振器内腔位于隔振器上板和隔振器下板之间，且隔振器内腔的上端通过转动件与隔振器上板的下表面中部连接。本发明综合利用气浮支承和空气弹簧的优点，在垂向上兼顾大负载和低刚度的特点，在径向上达到零刚度，具有极高的被动隔振价值；兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点，能满足大负载系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。
主权项：1.一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：包括隔振器上板1、隔振器下板2、隔振器内腔，所述隔振器内腔位于隔振器上板1和隔振器下板2之间，且隔振器内腔的上端通过转动件与隔振器上板1的下表面中部连接。
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百度查询： 哈尔滨工业大学 一种气浮式大负载低刚度隔振结构及设计方法
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