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摘要:该发明提供一种单晶炉隔离阀,包括隔离阀壳体及设置在隔离阀壳体内的阀芯板及阀芯板推送机构,隔离阀壳体的上端纵向设置有与单晶炉的上炉室连接的上法兰,隔离阀壳体的下端纵向设置有与单晶炉的炉盖连接的下法兰,在隔离阀壳体内位于下法兰内端口四周的端面上设置有吸引装置,阀芯板平行设置在阀芯板移动机构上,阀芯板移动机构驱动阀芯板能够平移至下法兰内端口的正上端,或平移至隔离阀壳体内远离下法兰的一侧,当阀芯板平移至下法兰内端口的正上端时,通过吸引装置对阀芯板吸引,将阀芯板紧密的吸引在下法兰内端口上,对下法兰封闭,该单晶炉隔离阀通过吸引装置能够使阀芯板四周受力均匀,与下法兰内端口闭合严实不窜气,长期使用稳定性好。
主权项:1.一种单晶炉隔离阀,其特征在于:包括平行设置的且四周为密闭的隔离阀壳体及设置在隔离阀壳体内的阀芯板及阀芯板推送机构,所述隔离阀壳体的上端纵向设置有与单晶炉的上炉室连接的上法兰,隔离阀壳体的下端纵向设置有与单晶炉的炉盖连接的下法兰,所述下法兰与上法兰相正对,并相互连通,在所述隔离阀壳体内位于下法兰内端口四周的端面上设置有吸引装置,所述阀芯板平行设置在阀芯板移动机构上,所述阀芯板移动机构驱动阀芯板在隔离阀壳体内平行移动,使阀芯板能够平移至下法兰内端口的正上端,对下法兰和上法兰进行隔离,或平移至隔离阀壳体内远离下法兰的一侧,使下法兰与上法兰相互连通,所述阀芯板平移至下法兰内端口的正上端时,所述吸引装置能够对阀芯板吸引,使阀芯板下压在下法兰内端口上,对下法兰进行封闭。
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百度查询: 宁夏申和新材料科技有限公司 单晶炉隔离阀及单晶炉
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