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一种深紫外发光二极管及其制备方法 

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摘要:本发明涉及一种深紫外发光二极管及其制备方法,所述深紫外发光二极管从下至上依次包括衬底、缓冲层、n型掺杂AlGaN层、多量子阱有源层、第一AlN插入层、p型电子阻挡层、第二AlN插入层、p型掺杂AlGaN层、p型接触层。这种在p‑EBL两侧插入薄AlN层的结构,与传统的AlGaN基p‑EBL的结构相比,压电极化被抑制到低水平,自发极化效应降低。此外,AlN插入层还通过带内隧穿提高了空穴注入效率,同时减少了有源区内电子向p型层的泄漏。外量子效率和辐射复合率显著提高,增强了AlGaN基深紫外发光二极管的光电性能,也抑制了效率衰减效应的急剧下降。

主权项:1.一种深紫外发光二极管,包括衬底,其特征在于,所述深紫外发光二极管还包括从下往上依次设置于所述衬底上的缓冲层、电子注入层、多量子阱有源区、第一AlN插入层、p型掺杂电子阻挡层、第二AlN插入层、空穴注入层、p型接触层。

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