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摘要：本发明公开了一种降低晶体应力的籽晶粘接装置，涉及晶体生长技术领域，包括籽晶托，所述籽晶托位于籽晶的一侧设有突起的固定环台，所述籽晶的边缘粘连在所述固定环台上，所述固定环台的内部形成内凹的应力消减区，使所述籽晶中部以悬浮的方式固定在所述籽晶托上；还包括压块，所述压块对应籽晶的一侧设有突起的压紧环台，所述压紧环台将籽晶边缘与固定环台的端面压制粘接。本发明还提出了一种降低晶体应力的籽晶粘接方法。本发明通过减小粘接面与籽晶面接触面积，降低晶体生长及降温过程中籽晶托对籽晶及生长晶体的作用力，从而达到降低晶体内应力及位错的目的，可有效降低晶体开裂率，提高晶体生长质量。
主权项：1.一种降低晶体应力的籽晶粘接装置，包括籽晶托1，其特征在于，所述籽晶托1位于籽晶2的一侧设有突起的固定环台11，所述籽晶2的边缘粘连在所述固定环台11上，所述固定环台11的内部形成内凹的应力消减区12，使所述籽晶2中部以悬浮的方式固定在所述籽晶托1上；还包括压块3，所述压块3对应籽晶2的一侧设有突起的压紧环台31，所述压紧环台31将籽晶2边缘与固定环台11的端面压制粘接。
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百度查询： 安徽微芯长江半导体材料有限公司 一种降低晶体应力的籽晶粘接装置及其方法
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