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摘要：本发明涉及一种二价锡配合物及其制备方法与应用，属于锡配合物技术领域。本发明的二价锡配合物的结构为其中，R选自氢或甲基。本发明的二价锡配合物由于脒基配体四元环结构的特殊性，脒基锡II在具备与水的高反应活性以及高的挥发性的同时，它在常温下呈现出液态，因此十分适用于原子层沉积工艺。
主权项：1.一种二价锡配合物，其特征在于，结构如下所示： 其中，R选自氢或甲基。
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百度查询： 苏州源展材料科技有限公司 一种二价锡配合物及其制备方法与应用
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