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汽化器排杂装置和多晶硅制备系统 

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摘要:本申请提供一种汽化器排杂装置和多晶硅制备系统,涉及多晶硅制备技术领域,以解决相关技术中排杂效果较差的问题。汽化器排杂装置包括汽化器壳体,汽化器壳体具有汽化器釜,汽化器壳体的底部开设有多个排杂口,多个排杂口均连通汽化器釜和外部,多个排杂口用于排出气化过程中汽化器釜中的高沸物;各排杂口处设置有单向阀,单向阀用于控制排杂口的打开或关闭。本申请能够实现连续排杂,提高排杂效果,有助于保证汽化过程中高沸物及杂质的及时、有效排出,进而保证汽化器内原料三氯氢硅的纯度,提高汽化效率,进而最大程度保证多晶硅的制备纯度和产品质量。

主权项:1.一种汽化器排杂装置,其特征在于,包括汽化器壳体,所述汽化器壳体具有汽化器釜,所述汽化器壳体的底部开设有多个排杂口,多个所述排杂口均连通所述汽化器釜和外部,多个所述排杂口用于连续排出气化过程中所述汽化器釜中的高沸物;各所述排杂口处设置有单向阀,所述单向阀用于控制所述排杂口的打开或关闭。

全文数据:

权利要求:

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