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新型FOWLP工艺AOP封装体及封装方法 

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摘要:本发明公开了新型FOWLP工艺AOP封装体及封装方法,属于AOP封装技术领域,包括如下步骤:S1、第一次重布线;S2、电镀铜针;S3、去胶粘晶;S4、塑封;S5、塑封打磨;S6、第二次重布线。本发明通过改良AiP封装中的TMV技术,采用通用技术改变制程,有效减少了通孔中空洞的产生,使得通孔质量得到显著提升,从而显著提高了封装的整体良率;将天线布局从传统的贴片式改为蚊香式,增加了信号传输的通路,这种设计不仅能够放大信号,提高信号的传输效率,同时也使得信号在传输过程中更加稳定。

主权项:1.新型FOWLP工艺AOP封装方法,其特征在于:包括如下步骤:S1、第一次重布线:在Release层上设置第一重布线层;S2、电镀铜针:在第一重布线层上电镀铜针,并在第一重布线层表面涂布光刻胶;S3、去胶粘晶:除去第一重布线层表面的光刻胶,粘贴晶圆;S4、塑封:在第一重布线层表面使用环氧树脂塑封料进行塑封;S5、塑封打磨:将塑封料打磨减薄,露出铜针;S6、第二次重布线:在铜针上设置第二重布线层。

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