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摘要:在该基板搬运机器人系统100中,控制部60基于在基板1的搬运中通过拍摄部30从比基板搬运机械手20靠下方的位置拍摄到的图像,取得基板1中的凹口N或定向平面的位置信息。
主权项:1.一种基板搬运机器人系统,其特征在于,具备:搬运基板的基板搬运机械手;拍摄部;以及控制部,所述控制部基于在所述基板的搬运中通过所述拍摄部从比所述基板搬运机械手靠下方的位置拍摄到的图像,取得由所述基板搬运机械手搬运的所述基板中的凹口或定向平面的位置信息。
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百度查询: 川崎重工业株式会社 基板搬运机器人系统及基板搬运机器人
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