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摘要：本发明为一种多晶硅高沸物的除杂剂及其制备方法、除杂方法。一种多晶硅高沸物的除杂剂的制备方法，包括以下步骤：1将含有氯硅烷的废气进行水解后，调节水解溶液的pH至中性，得中性废水；2将所述的中性废水压滤后，依次进行除硅、除杂处理，蒸发结晶，干燥，得回收盐，即所述的除杂剂。本发明所述的一种多晶硅高沸物的除杂剂及其制备方法、除杂方法，采用多晶硅中废气处理得到的回收盐进行多晶硅高沸物的除杂，可同时去除铝、钛杂质，具有除杂效果高、成本低、可重复使用的优势。
主权项：1.一种多晶硅高沸物的除杂剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将含有氯硅烷的废气和废液进行水解后，调节水解溶液的pH至中性，得中性废水；2将所述的中性废水压滤后，依次进行除硅、除杂处理，蒸发结晶，再干燥，得回收盐，即所述的除杂剂。
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百度查询： 新疆大全新能源股份有限公司 一种多晶硅高沸物的除杂剂及其制备方法、除杂方法
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