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摘要：本发明公开了一种铌酸锂波导调制器及其制备方法，所述铌酸锂波导调制器包括衬底和衬底上的脊型波导，所述脊型波导中至少有一部分为铌酸锂负畴结构，所述铌酸锂负畴结构的两侧设有电极；所述铌酸锂波导调制器的制备方法包括：将表面镀膜后的衬底和薄膜铌酸锂进行键合，再将键合后的薄膜铌酸锂加工成脊型波导，然后通过室温电场极化工艺制作负畴结构，最后在脊型波导两侧制备电极。本发明首次利用了铌酸锂的畴反转特性进行电光调制并制备得到铌酸锂波导调制器，制备方法简单易行，具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种铌酸锂波导调制器，其特征在于，包括衬底1和衬底上的脊型波导2，所述脊型波导2中至少有一部分为铌酸锂负畴结构3，所述铌酸锂负畴结构3的两侧设有电极4。
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百度查询： 南京大学 一种铌酸锂波导调制器及其制备方法
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