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摘要：一种连续炉的控制方法、连续炉及连续炉的控制程序。连续炉包括：第一处理室能够对对象物进行处理；第二处理室能够对对象物进行处理；第一中间室配置于第一处理室与第二处理室之间；第一封闭机构将第一处理室与第一中间室之间打开关闭；第二封闭机构将第二处理室与第一中间室之间打开关闭。控制方法包括：关闭第一封闭机构及第二封闭机构；以利用第一中间室的气压与第一处理室的气压之差而向第一封闭机构关闭的方向施加压力的方式对第一中间室的气压进行调整、和或以利用第一中间室的气压与第二处理室的气压之差而向第二封闭机构关闭的方向施加压力的方式对第一中间室的气压进行调整。
主权项：1.一种方法，为连续炉的控制方法，其特征在于，所述连续炉包括：第一处理室，能够对对象物进行处理；第二处理室，能够对所述对象物进行处理；中间室，配置于所述第一处理室与所述第二处理室之间；第一封闭机构，将所述第一处理室与所述中间室之间打开关闭；以及第二封闭机构，将所述第二处理室与所述中间室之间打开关闭，所述控制方法包括：关闭所述第一封闭机构及所述第二封闭机构的步骤；以及在关闭所述第一封闭机构及所述第二封闭机构的步骤中，以利用所述中间室的气压与所述第一处理室的气压之差而向所述第一封闭机构关闭的方向施加压力的方式对所述中间室的气压进行调整、和或以利用所述中间室的气压与所述第二处理室的气压之差而向所述第二封闭机构关闭的方向施加压力的方式对所述中间室的气压进行调整的步骤。
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百度查询： 株式会社岛津制作所 连续炉的控制方法、连续炉及连续炉的控制程序
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