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摘要：本发明的一实施方式的成膜装置经由具有一个或多个开口区域的掩模在基板的与所述开口区域对应的一个或多个面板区域进行成膜，所述掩模的所述一个或多个开口区域设置于与框状的掩模框架接合的掩模箔，其特征在于，所述成膜装置具备：对准部件，所述对准部件进行所述基板与所述掩模的对准；以及确认部件，所述确认部件使用设置于所述掩模箔的对准标记来确认利用所述对准部件进行了所述对准的所述基板的面板区域与所述掩模的开口区域的相对位置。
主权项：1.一种成膜装置，所述成膜装置经由具有一个或多个开口区域的掩模在基板的与所述开口区域对应的一个或多个面板区域进行成膜，所述掩模的所述一个或多个开口区域设置于与框状的掩模框架接合的掩模箔，其特征在于，所述成膜装置具备：对准部件，所述对准部件进行所述基板与所述掩模的对准；以及确认部件，所述确认部件使用设置于所述掩模箔的对准标记来确认利用所述对准部件进行了所述对准的所述基板的面板区域与所述掩模的开口区域的相对位置。
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百度查询： 佳能特机株式会社 成膜装置、成膜方法、电子器件的制造方法及计算机程序记录介质
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