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摘要：调制单元20及其制备方法、调制器件及其驱动方法，涉及微波与无线通信技术领域。调制单元20包括：底板10，底板10包括衬底11，以及设置在衬底11一侧的金属层12，金属层12上具有狭缝13；以及驱动层14，驱动层14设置在底板10的一侧，驱动层14包括极板15和驱动结构16，极板15与底板10之间具有间隙hl；调制单元20包括至少一个谐振结构21，谐振结构21包括：狭缝13、极板15以及驱动结构16；在同一个谐振结构21内，驱动结构16与极板15连接，用于响应于驱动信号，驱动极板15移动，以改变极板15在底板10上的正投影与狭缝13的交叠区域大小，调节谐振结构21的谐振频率。
主权项：一种调制单元，包括：底板，包括：衬底，以及设置在所述衬底一侧的金属层，所述金属层上具有狭缝；以及驱动层，设置在所述底板的一侧，包括极板和驱动结构，所述极板与所述底板之间具有间隙；其中，所述调制单元包括至少一个谐振结构，所述谐振结构包括：所述狭缝、所述极板以及所述驱动结构；在同一个谐振结构内，所述驱动结构与所述极板连接，用于响应于驱动信号，驱动所述极板移动，以改变所述极板在所述底板上的正投影与所述狭缝的交叠区域大小，调节所述谐振结构的谐振频率。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 调制单元及其制备方法、调制器件及其驱动方法
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