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申请/专利权人：长江大学
申请日：2024-09-30
公开（公告）日：2024-12-06
公开（公告）号：CN119087566A
专利技术分类：.衍射光栅[2006.01]
专利摘要：本发明公开一种楔形超构光栅及其实现任意窄带光束偏折的设计方法，楔形超构光栅由底层金属膜‑中间楔形电介质层‑顶层金属膜堆叠构成；楔形超构光栅为亚波长尺度；中间楔形电介质层材料和上层金属材料可根据需求替换，工作波长由中间楔形电介质层决定。本发明在亚波长尺度下，将光谱滤波和光束偏折的功能集成为一个楔形的超构光栅，可以将特定工作波长的正入射光偏折到衍射级次，具有窄带特性，其他波长的光被垂直反射，同时由于结构优势，使得其易于加工，并且能够兼容半导体工艺，实现功能的多重集成，因此可广泛用于光学器件、数码显示等实际应用场景。
专利权项：1.一种可实现任意窄带光束偏折的楔形超构光栅，其特征在于：所述楔形超构光栅包括底层金属膜、中间楔形电介质层和顶层金属膜，所述底层金属膜、中间楔形电介质层和顶层金属膜为依次排布为三层结构：底层金属膜-中间楔形电介质层-顶层金属膜；所述底层金属膜的厚度大于100nm，顶层金属膜的厚度为20-30nm；所述底层金属膜-中间楔形电介质层-顶层金属膜的工作波长由中间楔形电介质层决定。
百度查询： 长江大学 楔形超构光栅及其实现任意窄带光束偏折的设计方法
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