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摘要:本发明公开了一种打磨装置,旨在可以根据力矩反馈,调整打磨头的位置,控制力度,避免坩埚内壁崩坏,其包括打磨头、驱动模块、平台、力矩传感器模组、第一行走模块和第二行走模块,所述打磨头设置在所述驱动模块的输出端,所述驱动模块驱动所述打磨头旋转,所述力矩传感器模组连接所述驱动模块和所述平台,所述平台在所述第一行走模块的驱动下可沿第一方向移动,所述平台在所述第二行走模块的驱动下可沿第二方向移动,所述第一方向和所述第二方向相交;所述第一行走模块和所述第二行走模块根据所述力矩传感器模组的信号,调整所述打磨头的位置,属于打磨设备技术领域。
主权项:1.一种打磨装置,其特征在于,包括打磨头、驱动模块、平台、力矩传感器模组、第一行走模块和第二行走模块,所述打磨头设置在所述驱动模块的输出端,所述驱动模块驱动所述打磨头旋转,所述力矩传感器模组连接所述驱动模块和所述平台,所述平台在所述第一行走模块的驱动下可沿第一方向移动,所述平台在所述第二行走模块的驱动下可沿第二方向移动,所述第一方向和所述第二方向相交;所述第一行走模块和所述第二行走模块根据所述力矩传感器模组的信号,调整所述打磨头的位置。
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百度查询: 广东长信精密设备有限公司 一种打磨装置
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