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摘要：本申请公开了一种晶片吸盘及晶片固定方法，晶片吸盘包括吸附面和容纳槽，容纳槽用于容纳移送晶片的片叉结构，吸附面用于吸附晶片，吸附面包括第一吸附区和多个第二吸附区，多个第二吸附区与多个容纳槽一一对应的设置，各第二吸附区围绕于对应的容纳槽的周侧设置，第一吸附区围绕各第二吸附区周侧分布且连接各第二吸附区设置，第一吸附区和第二吸附区均具有独立的吸附孔。本申请的晶片吸盘及晶片固定方法，能够在吸附晶片时为晶片提供合适的吸附力，避免晶片变形，保证晶片的生产质量。
主权项：1.一种晶片吸盘，其特征在于，包括吸附面100和容纳槽300，所述容纳槽300用于容纳移送晶片200的片叉结构，所述吸附面100用于吸附所述晶片200，所述吸附面100包括第一吸附区10和多个第二吸附区20，多个所述第二吸附区20与多个容纳槽300一一对应的设置，各所述第二吸附区20围绕于对应的所述容纳槽300的周侧设置，所述第一吸附区10围绕各所述第二吸附区20周侧分布且连接各所述第二吸附区20设置，所述第一吸附区10和所述第二吸附区20均具有独立的吸附孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京奥普托科微电子技术有限公司 晶片吸盘及晶片固定方法
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