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摘要：本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体公开了一种晶圆清洁装置及清洁方法，包括：安装架、清洗槽和安装架上设置的吊装件，所述安装架包括放置杆和位于放置杆两侧的挡杆，挡杆内滑动设置有活动杆，所述挡杆上沿着其轴向开设有多个限位块和避让槽，所述活动杆上安装有多个滑动设置在避让槽上的安装块，所述限位块与安装块一起用于夹持晶圆，两挡杆上夹持的晶圆一一交错设置，活动杆与放置杆之间设有连接杆，活动杆上设有凸起；本发明的有益效果：在对晶圆进行清洗时，增加晶圆之间的间隙，清洗效果更好；安装架向下移动时，驱动组件使晶圆转动，进而使晶圆被夹持部位能够被清洗，使晶圆清洗更加全面。
主权项：1.一种晶圆清洁装置，包括安装架（1）、清洗槽（2）和安装架（1）上设置的吊装件（3），其特征在于：所述安装架（1）包括放置杆（11）和位于放置杆（11）两侧的挡杆（12），挡杆（12）内滑动设置有活动杆（13），所述挡杆（12）上沿着其轴向开设有多个限位块（14）和避让槽（15），所述活动杆（13）上安装有多个滑动设置在避让槽（15）上的安装块（16），所述限位块（14）与安装块（16）一起用于夹持晶圆，两挡杆（12）上夹持的晶圆一一交错设置，活动杆（13）与放置杆（11）之间设有连接杆（17），活动杆（13）上设有凸起（18），连接杆（17）的一端套接在活动杆（13）上并与凸起（18）之间存在间隙，另一端与放置杆（11）螺纹连接，连接杆（17）与挡杆（12）之间还安装有复位件（19）；清洗槽（2）内安装有与连接杆（17）端部接触并使连接杆（17）转动的驱动件（21），清洗槽（2）与挡杆（12）之间安装有用于驱动晶圆转动的转动组件（22），连接杆（17）与凸起（18）接触前，限位块（14）与安装块（16）夹持晶圆，连接杆（17）推动凸起（18）移动时，晶圆可自由转动。
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