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摘要：本发明属于薄膜热学传感器件技术领域，涉及一种耐1500℃的氧化物薄膜热电偶及其制备方法，该氧化物薄膜热电偶包括基底和布置在所述基底上的N型氧化物电极元件以及P型氧化物电极元件，所述N型氧化物电极元件的材料为氧化铟锡，所述P型氧化物电极元件的材料为钐、钙和钴氧化物固溶体。本发明通过精确调控钐、钙和钴等元素在氧化物固溶体中的含量，制备出具有优异耐高温性能的P型半导体氧化物材料，结合N型半导体氧化物氧化铟锡，以此来实现新型耐高温氧化物薄膜热电偶的制备。与现有贵金属薄膜热电偶相比，该氧化物薄膜热电偶，具有低成本、高输出、长寿命的特点，能满足1500℃及以下高温环境的温度测量需求。
主权项：1.一种耐1500℃的氧化物薄膜热电偶，包括基底和布置在所述基底上的N型氧化物电极元件以及P型氧化物电极元件，其特征在于：所述N型氧化物电极元件的材料为氧化铟锡，所述P型氧化物电极元件的材料为钐、钙和钴氧化物固溶体。
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百度查询： 中冶赛迪技术研究中心有限公司 中冶赛迪集团有限公司 耐1500℃的氧化物薄膜热电偶及其制备方法
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