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摘要：本发明涉及单体、聚合物、化学增幅负型抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供一种可获得改善图案形成时的分辨度，且LER及分辨度、图案忠实性、剂量宽容度经改善的抗蚀剂图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物，以及提供一种抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种下式A1表示的单体、含有来自该单体的重复单元的聚合物、及含有包含该聚合物的基础聚合物的化学增幅负型抗蚀剂组成物。
主权项：1.一种单体，以下式A1表示； 式中，a为0～4的整数；RA为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；LA为-Ο-或-NH-；LB为单键、醚键、酯键或酰胺键；XL为单键或也可含有杂原子的碳数1～40的亚烃基；R1为卤素原子或也可含有杂原子的碳数1～20的烃基；R2及R3分别独立地为氢原子、碳数1～15的饱和烃基或碳数6～15的芳基，且该烃基也可被羟基或碳数1～6的饱和烃基氧基取代，且该芳基也可具有取代基；但，R2及R3不会同时为氢原子；又，R2及R3也可互相键结并和它们所键结的碳原子一起形成环，且该环的-CH2-的一部分也可被-O-或-S-取代；W1为氢原子、碳数1～10的脂肪族烃基、碳数2～10的脂肪族烃基羰基或碳数6～15的芳基，且该芳基也可具有取代基。
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百度查询： 信越化学工业株式会社 单体、聚合物、化学增幅负型抗蚀剂组成物及图案形成方法
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