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摘要：本发明涉及硅片烘干技术领域，尤其涉及一种隧道烘干装置及其烘干方法，隧道烘干装置包括：烘干箱体、输送轨道、第一驱动件以及烘干机构，输送轨道贯穿烘干箱体，且输送轨道用于承载并输送花篮，第一驱动件位于输送轨道的上料位，并用于调节相邻两个花篮之间的间距，烘干机构包括：送风部、第一烘干部以及第二烘干部，送风部安装在烘干箱体的侧壁上，第一烘干部、第二烘干部均与送风部相连通，第一烘干部、第二烘干部均位于烘干箱体的内部，且第一烘干部位于花篮的上方，第二烘干部位于花篮的下方。本发明第一烘干部从上往下吹风，第二烘干部从下往上吹风，对花篮进行烘干作业，该方式能够将硅片的烘干时间缩短至500S，并能够提高硅片的烘干效果。
主权项：1.一种隧道烘干装置，其特征在于，包括：烘干箱体1，以及输送轨道2，所述输送轨道2贯穿所述烘干箱体1，且所述输送轨道2用于承载并输送花篮3；第一驱动件4，所述第一驱动件4位于所述输送轨道2的上料位，并用于调节相邻两个所述花篮3之间的间距；烘干机构5，所述烘干机构5包括：送风部6、第一烘干部7以及第二烘干部8，所述送风部6安装在所述烘干箱体1的侧壁上，所述第一烘干部7、所述第二烘干部8均与所述送风部6相连通，所述第一烘干部7、所述第二烘干部8均位于所述烘干箱体1的内部，且所述第一烘干部7位于所述花篮3的上方，所述第二烘干部8位于所述花篮3的下方；其中：所述第一烘干部7用于从所述花篮3的顶部对所述花篮3进行烘干作业，所述第二烘干部8用于从所述花篮3的底部对所述花篮3进行烘干作业。
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百度查询： 无锡釜川科技股份有限公司 隧道烘干装置及其烘干方法
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