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摘要：本发明公开了一种外差式六自由度测量光栅干涉仪，第一激光头出射第一频率的激光，通过第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片以及分光棱镜后垂直入射至测量光栅并产生衍射，衍射光经第一直角棱镜组反射后进入分光棱镜；一部分衍射光分量折射后经透镜入射到四象限光电探测器组以进行角度测量，另一部分衍射光分量透射穿过分光棱镜后经过第一四分之一波片入射至第一偏振分光棱镜，经过第二偏振分光棱镜、偏振片后入射至光电探测器组以进行位移测量；第二激光头出射第二频率的激光，通过参考光栅产生衍射，衍射光与第一频率的激光平行且重合以一并入射到光电探测器组。本发明实现了亚纳米精度、六自由度测量、低误差水平和小型化。
主权项：1.一种外差式六自由度测量光栅干涉仪，其特征在于，包括第一激光头、第二激光头、第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、分光棱镜、第一直角棱镜组、第二直角棱镜组、偏振片、透镜、测量光栅、参考光栅、光电探测器组、四象限光电探测器组；其中，所述第一激光头出射第一频率的激光，通过所述第一偏振分光棱镜、所述第一四分之一波片以及所述分光棱镜后垂直入射至所述测量光栅并产生衍射，衍射产生的衍射光经所述第一直角棱镜组反射后再进入所述分光棱镜；一部分衍射光分量折射后经透镜入射到所述四象限光电探测器组以进行角度测量，另一部分衍射光分量透射穿过所述分光棱镜后再经过所述第一四分之一波片入射至所述第一偏振分光棱镜，然后经过所述第二偏振分光棱镜、所述偏振片后入射至所述光电探测器组以进行位移测量；所述第二激光头出射第二频率的激光，通过所述第二偏振分光棱镜和所述第二四分之一波片后垂直入射至所述参考光栅并产生衍射，衍射产生的衍射光经所述第二直角棱镜组反射后再进入所述第二四分之一波片后，再经所述第二偏振分光棱镜反射后与经过所述第二偏振分光棱镜的所述第一频率的激光平行且重合，经所述偏振片后入射到所述光电探测器组。
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百度查询： 清华大学深圳国际研究生院 一种外差式六自由度测量光栅干涉仪及六自由度测量方法
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