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摘要：本发明公开了一种自动暂存上下料装置及清洗设备。本发明提出的自动暂存上下料装置，包括取料机构、翻转机构和暂存机构，取料机构将一个花篮内的多片晶圆取出转移至翻转机构，通过翻转机构使多片晶圆从水平状态转换为竖直状态。翻转机构包括翻转组件和晶圆固定辊，晶圆固定辊用于限制多片晶圆的位置，晶圆固定辊竖直状态时，接收搬运机械臂的水平状态的晶圆，翻转组件的翻转架翻转，晶圆固定辊翻转为水平状态，晶圆转换为竖直状态，暂存架接收竖直状态的晶圆并送至工艺室，竖直状态的晶圆在进行晶圆清洗时可以防止产生气泡晶圆清洗不干净的问题。解决了现有的自动暂存上下料无法将待清洗的多片晶圆从水平状态转换为竖直状态的问题。
主权项：1.一种自动暂存上下料装置，其特征在于，包括：取料机构、翻转机构3和暂存机构；所述取料机构包括：搬运机械臂11与开盒装置1；所述搬运机械臂11伸入至花篮内对所述花篮内间隔均匀的多片晶圆进行承托，待所述开盒装置1移走所述花篮后，所述搬运机械臂11再将多片晶圆推入翻转组件中；所述暂存机构包括：暂存架2和驱动组件，所述暂存架2上设有用于承托晶圆的至少两根齿条，所述驱动组件可驱动所述暂存架2在翻转组件和工艺室之间来回移动；所述翻转机构3包括：翻转组件和竖直固定在所述翻转组件上的可转动的至少三根晶圆固定辊31；所述晶圆固定辊31接收所述搬运机械臂11的多片晶圆时呈竖直状态，待所述暂存架2达到其一侧时，所述翻转组件的翻转架34翻转使所述晶圆固定辊31翻转为水平状态，由所述暂存架2接收所述晶圆，并送至所述工艺室。
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